Bachelorarbeit: Weiterentwicklung einer autarken Steuerungseinheit für den Deckelhubantrieb von MOCVD-Anlagen

Sven Fischer

Im Zuge der Industrialisierung werden immer mehr Anlagen automatisiert und über Speicherprogrammierbare Steuerungen gesteuert. Dadurch ergibt sich die Möglichkeit, komplexe Vorgänge innerhalb der Software sicher erfassen zu lassen und große Anlagen mit wenigen Knopfdrücken zu bedienen.

Im Rahmen der Bachelorarbeit soll ein bestehendes Werkzeug für MOCVD-Anlagen der Firma AIXTRON erweitert werden. Die Deckelhubsteuerung (bestehend aus zwei Servomotoren, einem Synchron-Servoregler und zwei Linear Getrieben) soll dabei zwischen mehreren Anlagen selektieren können. Weiterhin soll eine Parametrierung des Synchron-Servoreglers stattfinden und beide Achsen synchronisiert werden. Das dafür zu schreibende Programm wird nach IEC 61131-3 realisiert und mithilfe eines Versuchsaufbaus für die Anlagen im Produktionsbereich getestet. Sinn dabei ist es, dem Anwender ein selbsterklärendes User Interface zu schaffen um die Inbetriebnahme verschiedenster Anlagentypen zu erleichtern und den Vorgang zu beschleunigen